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发明名称 VERFAHREN ZUM VERBESSERTEN EINSATZ VON FLUESSIGKEITEN BEI DER HERSTELLUNG VON HALBLEITERPLAETTCHEN
摘要
申请公布号 DE2643592(A1) 申请公布日期 1977.06.16
申请号 DE19762643592 申请日期 1976.09.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 KERMIT HOOD,RODERICK;HEINZ RAACKE,KARL
分类号 H01L21/306;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/31;H01L21/465 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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