VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG,申请号DE19762654979-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号	DE2654979(A1)	申请公布日期	1977.06.16
申请号	DE19762654979	申请日期	1976.12.03
申请人	TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO.,LTD.	发明人	AJIMA,TAKASHI;TAKAOKI,KIYOSHI;YONEZAWA,TOSHIO
分类号	H01L29/73;H01L21/283;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/331;H01L21/8222;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	H01L29/73
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