| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHICHTSTRUKTUREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ATA450575(A) |
申请公布日期 |
1977.06.15 |
| 申请号 |
AT19750004505 |
申请日期 |
1975.06.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
C08F290/00;C08F299/00;C08G73/00;C08G73/06;C08G73/10;C08G73/12;G03F7/035;G03F7/038;(IPC1-7):C08J5/18;C08L77/00 |
主分类号 |
C08F290/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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