| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER LADUNGSVERSCHIEBEANORDNUNG IN ZWEIPHASEN-TECHNIK MITTELS SCHRAGER IONENIMPLANTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ATA631774(A) |
申请公布日期 |
1977.06.15 |
| 申请号 |
AT19740006317 |
申请日期 |
1974.08.01 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L29/762;H01L21/00;H01L21/339;H01L29/10;H01L29/423;H01L29/768;(IPC1-7):H01L21/365;H01L21/265 |
主分类号 |
H01L29/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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