发明名称 GROWTH OF P TYPE BORON PHOSPHIDE SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5271172(A) 申请公布日期 1977.06.14
申请号 JP19750147644 申请日期 1975.12.10
申请人 TOKYO DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 NAGANO KATSUTO;SASA SHIYOUZOU;NAKADA TAKESHI
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L29/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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