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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5221868(B2)
申请公布日期
1977.06.14
申请号
JP19720008258
申请日期
1972.01.24
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;H01L21/312;H01L23/29;H01L23/31
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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