发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ISOLATIONSSCHICHTEN ZWISCHEN MEHRSCHICHTIG UEBEREINANDER VERLAUFENDEN METALLISCHEN LEITUNGSVERBINDUNGEN FUER HALBLEITERANORDNUNGEN
摘要
申请公布号 DE1764937(B2) 申请公布日期 1977.06.08
申请号 DE19681764937 申请日期 1968.09.07
申请人 发明人
分类号 C03C3/06;C23C16/40;H01L21/316;H01L23/522;H01L23/532;(IPC1-7):01L23/30 主分类号 C03C3/06
代理机构 代理人
主权项
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