发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE2653148(A1) 申请公布日期 1977.06.08
申请号 DE19762653148 申请日期 1976.11.23
申请人 INTERNATIONAL STANDARD ELECTRIC CORP. 发明人 JOHN THRUSH,EDWARD
分类号 C25F3/12;C25F7/00;H01J9/12;H01L21/3063;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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