| 发明名称 |
POLIERGEMISCH UND -VERFAHREN FUER HALBLEITERSUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2653901(A1) |
申请公布日期 |
1977.06.08 |
| 申请号 |
DE19762653901 |
申请日期 |
1976.11.27 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
SINGH BASI,JAGTAR |
| 分类号 |
B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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