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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MESA- UND RAEUMLICHEN HALBLEITERSTRUKTUREN MIT LOKALER INHOMOGENITAET HINSICHTLICH IHRER ZUSAMMENSETZUNG UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG DIESES VERFAHRENS
摘要
申请公布号 DE2653855(A1) 申请公布日期 1977.06.08
申请号 DE19762653855 申请日期 1976.11.26
申请人 GOSUDARSTVENNYJ NAUTSCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ I PROEKTNYJ INSTITUT REDKOMETALLITSCHESKOJ PROMYSCHLENNOSTI GIREDMET 发明人 NIKOLAJEVITSCH MASLOV,VADIM;JEVGENJEVITSCH KOROBOV,OLEG;NAUMOVNA LUPATSCHEVA GEB. KASCHDAN,ALLA;NIKOLAJEVITSCH CHLEBNIKOV,NIKOLAJ;ANATOLJEVITSCH DROSDOV,JURIJ;GEORGIJEVITSCH VORONIN,NIKOLAJ
分类号 C30B25/02;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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