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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5220954(B1) 申请公布日期 1977.06.07
申请号 JP19710017170 申请日期 1971.03.24
申请人 发明人
分类号 C30B19/00;C30B9/06;C30B19/04;C30B19/06;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/20;H01L21/20 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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