| 发明名称 |
MANUFACTURING PROCESS OF SEMICONDUCTOR UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5267974(A) |
申请公布日期 |
1977.06.06 |
| 申请号 |
JP19750144885 |
申请日期 |
1975.12.03 |
| 申请人 |
SUWA SEIKOSHA KK |
发明人 |
INOUCHI KEIICHI;TSUDA AKITO |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/31;H01L29/41 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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