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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5220831(B1)
申请公布日期
1977.06.06
申请号
JP19690095954
申请日期
1969.11.29
申请人
发明人
分类号
H01L27/088;H01L21/225;H01L21/8234;H01L27/04;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/22
主分类号
H01L27/088
代理机构
代理人
主权项
地址
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