发明名称 HIGH VACUUM PUMP
摘要 <p>PURPOSE:To continuously perform highly efficient exhausting operation from atmo atmospheric pressure to high vacuum by connecting inlet port of goede type oil rotating pump to discharge port of jigburn type molecule pump subdivided toward the discharge port of spiral kerf.</p>
申请公布号 JPS5267810(A) 申请公布日期 1977.06.04
申请号 JP19750144273 申请日期 1975.12.03
申请人 AISIN SEIKI 发明人 NAKAMURA KAZUAKI
分类号 F04B37/16;F04B41/06;F04C23/00;F04D19/04;F04D25/16 主分类号 F04B37/16
代理机构 代理人
主权项
地址