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经营范围
发明名称
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5267574(A)
申请公布日期
1977.06.04
申请号
JP19750144222
申请日期
1975.12.02
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MATOBA TOSHIAKI;FUNAKAWA SHIGERU
分类号
H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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