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发明名称
PREPARATION OF IIIIV GROUP COMPOUNDS SEMICONDUCTOR EPITAXIAL LAMINATIO N CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPS5267259(A)
申请公布日期
1977.06.03
申请号
JP19750143594
申请日期
1975.12.01
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
MIZUNO OSAMU
分类号
C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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