发明名称 WERKWIJZE VOOR DE VERVAARDIGING VAN MESA- EN DRIE- DIMENSIONALE HALFGELEIDERSTRUCTUREN MET EEN PLAAT- SELIJK NIET-UNIFORME SAMENSTELLING, EN EEN INRICH- TING VOOR HET UITVOEREN VAN DEZE WERKWIJZE.
摘要
申请公布号 NL7613384(A) 申请公布日期 1977.06.03
申请号 NL19760013384 申请日期 1976.12.01
申请人 GOSUDARSTVENNY NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKY I PROEKTNY INSTITUT REDKOMETALLICHESKOI PROMYSHLENNOSTI "GIREDMET" TE MOSKOU. 发明人
分类号 C30B25/02;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/18 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
地址