发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR UNIT
摘要 PURPOSE:To obtain high-integration MOSIC with use of substrate which is capable of making field inversion voltage equivalent to break-down voltage of junction.
申请公布号 JPS5267276(A) 申请公布日期 1977.06.03
申请号 JP19750130240 申请日期 1975.10.29
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KATOU SATOSHI
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/78 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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