发明名称 OXYDEGEBIED IN HALFGELEIDERPLAATJE.
摘要
申请公布号 NL7611938(A) 申请公布日期 1977.06.01
申请号 NL19760011938 申请日期 1976.10.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. TE ARMONK, NEW YORK, VER.ST.V.AM. 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/762;H01L29/73;(IPC1-7):01L21/76;01L21/94;01L21/324 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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