发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要 PURPOSE:To form a uniform coating thickness by immersing a plurality of polygonal substrates into a coating solution then pulling them up so that their one comer leaves the surface of the coating solution.
申请公布号 JPS5266450(A) 申请公布日期 1977.06.01
申请号 JP19750141649 申请日期 1975.11.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHITANI SHIZUO;HANADA YOSHIO
分类号 B05D1/18;G02F1/1333;G09F9/30 主分类号 B05D1/18
代理机构 代理人
主权项
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