发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET BEREIDEN VAN EEN MIDDEL VOOR HET BEHANDELEN VAN OPPERVLAKKEN VAN TUSSEN- PRODUKTEN DIE ONTSTAAN BIJ HET VERVAARDIGEN VAN HALFGELEIDERS. |
摘要 |
|
申请公布号 |
NL7609602(A) |
申请公布日期 |
1977.05.31 |
申请号 |
NL19760009602 |
申请日期 |
1976.08.30 |
申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO. LTD. TE KAWASAKI-SHI, JAPAN. |
发明人 |
|
分类号 |
C11D3/30;C23G1/14;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/30;C23G5/02 |
主分类号 |
C11D3/30 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|