| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5265676(A) |
申请公布日期 |
1977.05.31 |
| 申请号 |
JP19750141951 |
申请日期 |
1975.11.26 |
| 申请人 |
SHIN NIPPON DENKI KK |
发明人 |
KACHI MASAO;HIGO KUNITSUGU |
| 分类号 |
H01L21/60;H01L21/288;H01L21/329;H01L23/48;H01L27/00 |
主分类号 |
H01L21/60 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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