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发明名称 SOLID DIFFUSION SOURCES CONTAINING PHOSPHORUS AND SILICON
摘要
申请公布号 CA1011227(A) 申请公布日期 1977.05.31
申请号 CA19730167255 申请日期 1973.03.20
申请人 CARBORUNDUM COMPANY (THE) 发明人 MCMURTRY, CARL H.;MURATA, YORIHIRO
分类号 C30B31/06;H01L21/22;H01L21/223 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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