发明名称 SELECTIVE INTRODUCTION OF IMPURITY IN COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS5265664(A) 申请公布日期 1977.05.31
申请号 JP19750142714 申请日期 1975.11.26
申请人 SHARP KK 发明人 HIJIKATA TOSHIKI;TAKAGI JIYUNKOU;INOUE TADAAKI;TOMITA KOUJI
分类号 H01L21/22;H01L21/265 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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