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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5264282(A) 申请公布日期 1977.05.27
申请号 JP19750139277 申请日期 1975.11.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 YATSUNO KOUMEI
分类号 H01L29/73;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/04;H01L29/08;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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