发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5264275(A) 申请公布日期 1977.05.27
申请号 JP19750140665 申请日期 1975.11.21
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 HIRAGA TATSUO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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