发明名称 PROCEDE POUR DEPOSER DES COUCHES CONDUCTRICES SUR DES SUPPORTS ET PRODUITS OBTENUS PAR LE PROCEDE
摘要
申请公布号 FR2330245(A1) 申请公布日期 1977.05.27
申请号 FR19760032825 申请日期 1976.10.29
申请人 US ENERGY RESEARCH DEVELOP ADMIN 发明人 PAUL HOWARD HOLLOWAY, DONALD MOSS MATTOX ET GERALD CLIFFORD NELSON;MATTOX DONALD MOSS;NELSON GERALD CLIFFORD
分类号 H05K3/14;H01L21/48;H01L23/498;H05K3/38;(IPC1-7):05K3/10;01L21/283 主分类号 H05K3/14
代理机构 代理人
主权项
地址