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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON RELIEFSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 DE2437369(B2) 申请公布日期 1977.05.26
申请号 DE19742437369 申请日期 1974.08.02
申请人 发明人
分类号 G03F7/038;H01L21/312;(IPC1-7):C08G73/10;G03C1/70;H01L21/56;H01L23/28 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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