| 发明名称 |
PROVE DEVICE FOR MEASUREMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5262479(A) |
申请公布日期 |
1977.05.23 |
| 申请号 |
JP19750138202 |
申请日期 |
1975.11.19 |
| 申请人 |
KOGYO GIJUTSUIN *JAPAN* |
发明人 |
HAYASHI YUTAKA;NAGAI KIYOKO;TARUI YASUO |
| 分类号 |
G01R1/073;G01N27/00;G01R1/06;G01R27/02;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/073 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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