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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5222272(Y2) 申请公布日期 1977.05.21
申请号 JP19760000496U 申请日期 1976.01.07
申请人 发明人
分类号 G02B7/00;G02B21/18;G02B27/02;G02B27/10;H01L21/60;H01L21/68;(IPC1-7):G02B27/02 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
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