发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS5261977(A) 申请公布日期 1977.05.21
申请号 JP19750139049 申请日期 1975.11.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJITA TSUTOMU;YAMADA HARUO;TAKEMOTO TOYOKI
分类号 H01L21/8226;H01L21/331;H01L27/04;H01L27/082;H01L29/08;H01L29/73;H03K19/08 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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