| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE RESIN FORMING ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5260615(A) |
申请公布日期 |
1977.05.19 |
| 申请号 |
JP19750136333 |
申请日期 |
1975.11.14 |
| 申请人 |
ASAHI CHEMICAL IND |
发明人 |
IMAI ISAO;HAGIWARA TAKEAKI;SASAKI SHIYOUZOU;KAGAYA HARUTO |
| 分类号 |
C08F220/00;C08F220/04;C08F220/26;G03F7/00;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/312 |
主分类号 |
C08F220/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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