发明名称 OXIDE ETCHANTS
摘要
申请公布号 GB1474294(A) 申请公布日期 1977.05.18
申请号 GB19740044067 申请日期 1974.10.11
申请人 WESTERN ELECTRIC CO INC 发明人
分类号 C01B33/12;C23F1/10;C23F11/04;C23F11/14;G03F7/30;H01L21/00;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):C09K13/00;C09K13/08 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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