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发明名称 FORMATION OF FILMS
摘要
申请公布号 JPS5260084(A) 申请公布日期 1977.05.18
申请号 JP19750135817 申请日期 1975.11.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SATOU SHINICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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