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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR MEMORY ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5258489(A) 申请公布日期 1977.05.13
申请号 JP19750134094 申请日期 1975.11.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01L21/8247;G11C11/40;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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