发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5256869(A) |
申请公布日期 |
1977.05.10 |
申请号 |
JP19750132646 |
申请日期 |
1975.11.05 |
申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
KAI SHIYUNICHI;YASUJIMA TAKASHI;YONEZAWA TOSHIO |
分类号 |
H01L21/308;H01L21/22;H01L21/302;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/308 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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