发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5256855(A) 申请公布日期 1977.05.10
申请号 JP19750132670 申请日期 1975.11.05
申请人 SONY CORP 发明人 YAMADA TOSHIYUKI
分类号 C30B19/06;H01L21/208;H01S5/00 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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