发明名称 METHOD OF PREVENTING EROSION OF ETCHING
摘要
申请公布号 JPS5256870(A) 申请公布日期 1977.05.10
申请号 JP19750133456 申请日期 1975.11.05
申请人 YOSHIMURA YUKAGAKU KK 发明人 MATSUDA KEIICHI;ICHII MASAHIKO
分类号 C23F1/00;H01L21/302 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利