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发明名称
METHOD OF PREVENTING EROSION OF ETCHING
摘要
申请公布号
JPS5256870(A)
申请公布日期
1977.05.10
申请号
JP19750133456
申请日期
1975.11.05
申请人
YOSHIMURA YUKAGAKU KK
发明人
MATSUDA KEIICHI;ICHII MASAHIKO
分类号
C23F1/00;H01L21/302
主分类号
C23F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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