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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5255868(A) 申请公布日期 1977.05.07
申请号 JP19750131431 申请日期 1975.11.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ABE SHIGEHARU
分类号 H01L29/73;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/331;H01L29/08 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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