发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5255880(A) 申请公布日期 1977.05.07
申请号 JP19750132029 申请日期 1975.10.31
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIRAO TADASHI
分类号 H01L21/822;H01L21/76;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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