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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5255380(A) 申请公布日期 1977.05.06
申请号 JP19750130868 申请日期 1975.10.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIHARA KIYOHIKO
分类号 H01L21/283;H01L21/28;H01L21/31 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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