发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON HALBLEITERANORDNUNGEN
摘要
申请公布号 DE2646300(A1) 申请公布日期 1977.05.05
申请号 DE19762646300 申请日期 1976.10.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 ANDREW KEENAN,WILLIAM;THOMAS KROLL,CHARLES
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/425;H01L21/471 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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