发明名称 VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG EINER DIELEKTRISCHEN ISOLATIONSSCHICHT IN EINER EPITAXIALEN SCHICHT EINES VERBINDUNGSHALBLEITERS ODER ZUR AUSBILDUNG EINER ISOLATIONS- UND SCHUTZSCHICHT FUER DEN PN- UEBERGANG EINES VERBINDUNGSHALBLEITERS
摘要
申请公布号 DE2351395(B2) 申请公布日期 1977.05.05
申请号 DE19732351395 申请日期 1973.10.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L27/00;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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