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发明名称
VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG EINER DIELEKTRISCHEN ISOLATIONSSCHICHT IN EINER EPITAXIALEN SCHICHT EINES VERBINDUNGSHALBLEITERS ODER ZUR AUSBILDUNG EINER ISOLATIONS- UND SCHUTZSCHICHT FUER DEN PN- UEBERGANG EINES VERBINDUNGSHALBLEITERS
摘要
申请公布号
DE2351395(B2)
申请公布日期
1977.05.05
申请号
DE19732351395
申请日期
1973.10.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/00;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/76;H01L27/00;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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