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发明名称 MASKENFOTOUEBERTRAGER
摘要
申请公布号 DE2649687(A1) 申请公布日期 1977.05.05
申请号 DE19762649687 申请日期 1976.10.29
申请人 THOMSON-CSF 发明人 PIRCHER,GEORGES
分类号 H01L21/30;G03F1/00;G03F1/08;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03F1/00;G12B5/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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