发明名称 WERKWIJZE VOOR DE VERVAARDIGING VAN EEN HALFGE- LEIDERINRICHTING ALSMEDE ALDUS VERKREGEN HALFGE- LEIDERINRICHTING.
摘要
申请公布号 NL7611929(A) 申请公布日期 1977.05.03
申请号 NL19760011929 申请日期 1976.10.27
申请人 HITACHI LIMITED TE TOKIO. 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/94;H01L21/31 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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