| 发明名称 |
PRECISELY AND FINELY MOVABLE PEDESTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5254459(A) |
申请公布日期 |
1977.05.02 |
| 申请号 |
JP19750129222 |
申请日期 |
1975.10.29 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KUNIYOSHI SHINJI;HOSAKA SUMIO |
| 分类号 |
H01L21/68;B23Q1/00;B23Q1/36;G01B7/00;G01B7/02;G02B21/26;G12B5/00 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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