| 发明名称 |
METHOD OF INTRODUCING IMPURITY INTO SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5253658(A) |
申请公布日期 |
1977.04.30 |
| 申请号 |
JP19750129646 |
申请日期 |
1975.10.28 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
KUBOTA HIDEO;HAYASHI YASUO;OKAZAKI NOBUMICHI;WATANABE SEIICHI |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L29/36;H01L29/93 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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