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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN MOS-SCHALTUNG
摘要
申请公布号 DE2316208(B2) 申请公布日期 1977.04.28
申请号 DE19732316208 申请日期 1973.03.31
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/76;H01L29/00;(IPC1-7):H01L27/08 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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