发明名称 CLEANING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS5252475(A) 申请公布日期 1977.04.27
申请号 JP19750129524 申请日期 1975.10.27
申请人 SHIN NIPPON DENKI KK 发明人 KACHI MASAO;ASAMI HIROSHI
分类号 B08B3/08;C23G3/00;H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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