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发明名称
PIEZOELECTRIC VIBRATOR
摘要
PURPOSE:To make a poly Si film resistant to etching solution for a long time, by forming the poly Si film on a piezoelectric substrate.
申请公布号
JPS5252383(A)
申请公布日期
1977.04.27
申请号
JP19750127922
申请日期
1975.10.24
申请人
CITIZEN WATCH CO LTD
发明人
KIZAKI SHIGERU;AWAODA SHIYOUGO
分类号
H03H3/02
主分类号
H03H3/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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